第二百四十六章 直播！超级光刻机诞生！（2） (2/2)

“晕，怎么又讲技术啊？”

“神他喵的严肃！”

“作业已经很多了，求放过小的吧！”

“严肃吗？我其实一直把高老板这档节目当娱乐直播看的。”

“我也是呢！”

“严肃起来的高老板，一点也不可爱！”

面对广大吃瓜群众的呼声，高原理所当然选择了无视，用他坚定沉稳的声音说道：“想了解光刻机，首先就要明白光是如何产生的。”

“请看大屏幕！”

唰～

下一秒，早已准备好的图表出现，根据讲解进度，图表还会变化播放。

高原走上前，手指图表说道：“不同于西方技术，我们的技术路线比较复杂，如图所示，首先将高功率的二氧化碳激光，打在直径三十微米的锡液滴上，通过高功率激光蒸发锡液，然后将蒸汽加热到电子脱落的临界温度，留下离子，再进一步加热，直到离子开始发射光子。”

“具体来说呢，就是首先打开锡液发生器，使锡液滴落入真空室里，脉冲式高功率激光器启动，击中从旁飞过的锡液滴，频率为每秒五万次，目地是使锡液气化。”

“气化瞬间，锡原子被快速电离，产生高强度的等离子体，这时候，收集镜会捕获等离子体发出的辐射，汇聚形成光源，将集中起来的光源传递至光刻系统，经过放大，调整，物镜的折射，最终曝光在硅晶片之上。”